超声雾化热解喷涂设备是一款薄膜沉积设备，可用于制备单元氧化物、多元氧化物、I-VI、IIV-VI、III-VI、IV-VI、V-VI双元硫族化合物、三元硫族化合物薄膜制备。如ZnO、SnO2、MgO、NiO、Cr2O3、TiO2、CdS、CdTe、CdxZn1-xS、Cu2ZnSnS4等。适合物理、材料、微电子类专业开展专业基础实验、专业实验、开放实验和学生毕业论文、科研工作。设备由超声雾化器、薄膜沉积室、管路组件、控制组件等部分构成。采用不锈钢制造，薄膜样品污染程度小。
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