【双旭】DH-350 PECVD等离子体增强化学气相沉积设备参数
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箱式炉是以电阻丝为加热元件，同时设有通气接口，可用于氧气或惰性气体下使用。该炉具有体积小、重量轻、温场均衡、升降温度速率快、节能等优点。
镀膜机主要用于科研实验，可制备纳米级和微米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、光学膜、金属膜、铁磁薄膜、半导体膜、介质膜和氧化物薄膜等多种薄膜。该镀膜机为前开门式设计，功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便。真空室材料均采用材质SUS304 不锈钢材料制造，工艺规范、精致，保证了材料的成膜纯度。
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