【双旭牌】代理商DH-QGA-2 四极质谱气体分析仪
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多功能微波等离子体实验装置由微波源、真空系统、供气系统、冷却系统、微波传输及微波谐振腔组成；由微波源产生频率为2.45GHz的微波，沿矩形波导管传输，在水冷谐振腔反应室内激励气体形成轴对称的等离子体球。可完成以下实验：微波等离子体化学气相沉积法制备多种功能薄膜材料、微波等离子体刻蚀加工实验、材料表面改性和清洗等；适合大学物理、材料、化学等域的学生实验及教师科学研究。
直流辉光等离子体实验装置由可拆卸的气体放电管、测量系统、真空系统、进气系统和水冷系统等部分组成;工作气体、工作气压、电极距离等参数均可灵活地调控。可完成的实验有：汤森电离系数a及比值a/p的测定；直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量;气体击穿电压的测定及帕邢定律验证实验。
微波CVD薄膜制备装置为一高效微波等离子体化学气相沉积制备设备，可用于生长金刚石薄膜、碳纳米管、氮化硅、碳化硅等超硬膜，具有生长速度快、操作简便、性价比高等优点。适合大学物理、材料、化学等域的学生实验及教师科学研究。
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