RCL-56系列热式气体流量计
主要用于对微小气体的流量精密测量。以小口径区别于传统的热式气体质量流量计,RCL-56系列具有量程比宽,响应时间短,压力 损耗小,使用方便,价格便宜等特点。RCL-56系列热式气体流量计在真空镀膜 、材料科学 、微电子工业、石油 化工、医药、环保和科学研究等领域中有着重要的应用。
技术指标
型 号
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普通型
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大流量
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高压型
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1
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量 程
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0-30,50 ,100,200,300,500mL/min
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0-20,0-30,0-50 0-100L/min
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0-10L,800L/min
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0-1,2,3,5,10L/min
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0-150,0-200,0-250L/min
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2
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准确度(%F.S)
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±1.5-±2%
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±1.5-±2%
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±1.5-±2%
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3
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重复精度
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±0.5%
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±0.5%
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±0.5%
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4
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响应时间
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1S
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1S
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1S
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5
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工作压降
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≌0
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≌0
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≌0
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6
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耐 压
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3MPa
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3MPa
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10MPa
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7
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工作环境温度
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0~62℃ ,-10~90℃
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8
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输出信号
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4-20mA恒流或1-5VDC,RS232,RS485
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9
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供 电
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18-36V DC
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10
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通 径
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Φ3,6,8,10,15,20…...
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11
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流速范围
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0.05—50米/秒
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12
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测量介质
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不含水的纯净气体或空气
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